單晶硅超聲波清洗機(jī)

2020年02月13日
單晶硅超聲波清洗機(jī)是一種用于清洗晶硅片等精密物件的清洗設(shè)備，從晶棒上切割下來(lái)的單晶硅片經(jīng)過(guò)倒角、雙面研磨、拋光等工序加工后，其表面會(huì)附著各種污染物。隨著集成電路對(duì)硅片質(zhì)量要求越來(lái)越高，對(duì)硅片表面的污染物有著極其嚴(yán)格的要求和控制。如果單晶硅片沒(méi)有清洗干凈則會(huì)嚴(yán)重影響器件的質(zhì)量和成品率，清洗也成為單晶硅片制造過(guò)程中重要的步驟。

單晶硅超聲波清洗機(jī)是通過(guò)超聲波振動(dòng)在液體中形成微小的氣泡，這些氣泡由于超聲波空化作用快速地破裂而產(chǎn)生微小的擦洗從而出去單晶硅片表面的污染物。超聲波清洗技術(shù)在半導(dǎo)體行業(yè)中已經(jīng)是一種廣泛應(yīng)用到的清洗方式，它具有清洗效果好、操作簡(jiǎn)單等優(yōu)勢(shì)。在單晶硅片的制作過(guò)程中大部分步驟為清洗工藝，在清洗硅片中應(yīng)正確的使用單晶硅片超聲波清洗機(jī)，單晶硅片的潔凈度對(duì)半導(dǎo)體器件的性能起著至關(guān)重要的作用。